「レーザー」に関するサイレントキーワード「加工変質層」が含まれる科研費採択研究2件

【研究名】超短パルス高出力フラッシュランプ照射による単結晶シリコン加工変質層の完全修復
【研究代表者】閻 紀旺  慶應義塾大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/	
【研究名】高周波ナノ秒パルスレーザ照射による大口径シリコンウエハ加工変質層の完全修復
【研究代表者】閻 紀旺  東北大学   大学院・工学研究科   准教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040323042/