「圧電素子」に関するサイレントキーワード「能動空気軸受」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】5自由度制御型能動空気軸受の試作研究
【研究代表者】下河辺 明  東京工業大学   工学部・生産機械工学科   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000040016796/	 
【研究分担者】
森山 茂夫  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/10000株)日立製作所  中央研究所  主任研究員
豊山 晃  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/10000株)第一測範製作所  取締役
佐藤 海二  東京工業大学  精密工学研究所  助手  	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000000215766/