「圧電素子」に関するサイレントキーワード「平行ばね」が含まれる科研費採択研究1件

【研究名】粗・微動連動制御機構による表面形状計測に関する研究
【研究代表者】三井 公之  慶應義塾大学   理工学部   教授 	https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090219668/