「拡散」に関するサイレントキーワード「Mos」が含まれる科研費採択研究2件 【研究名】SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究 【研究代表者】平本 俊郎 東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000020192718/ 【研究分担者】 斉藤 敏夫 (斎藤 敏夫) 東京大学 国際・産学共同研究センター 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090170513/ 平川 一彦 東京大学 生産技術研究所 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000010183097/ 藤田 博之 東京大学 生産技術研究所 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090134642/ 【研究名】MOS型IC材料の化学反応と拡散に関する研究 【研究代表者】後藤 和弘 東京工業大学 工学部 教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070016260/ 【研究分担者】 須佐 匡裕 東京工業大学 工学部 助手 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000090187691/ 永田 和宏 東京工業大学 工学部 助教授 https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070114882/